常溫常壓下三氯化硼11（B11Cl3）為無色發煙氣體，可燃，有刺激性、酸性氣味，遇水分解生成氯化氫和硼酸，并放出大量熱量，在濕空氣中因水解而生成煙霧，在醇中分解為鹽酸和硼酸酯。三氯化硼11反應能力較強，能形成多種配位化合物，三氯化硼加熱能和玻璃、陶瓷起反應，也能和許多有機物反應形成各種有機硼化合物。高純三氯化硼11主要用于（矽）半導體器件制造工藝中的擴散摻雜，在高溫下，經過分解生成硼雜質向矽中擴散，形成P型半導體，也可用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、WSi等材料的幹法蝕刻。

産品指标

産品用途：

高純三氯化硼11主要用于半導體器件和集成電路制造中擴散摻雜、離子注入、幹法蝕刻等工藝。三氯化硼11也可用以制造高純硼、有機合成用催化劑、矽酸鹽分解時的 助熔劑，在合金精制中作為除氧劑、氮化物和碳化物的添加劑。

包裝、貯存：

三氯化硼11充裝于鋼瓶中，包裝規格為10L和47L，具體包裝規格可根據用戶要求定制更改。産品儲存于陰涼、幹燥、通風庫房内，庫房溫度低于60℃。嚴禁暴曬，遠離熱源。包裝必須密封，與堿類等危險品分開儲存。